随着张江高科和海立股份等涨高了，低位的光刻机股票也会迎来补涨

【光刻机最核心8家企业梳理】

1、蓝英装备：全球领先的清洗系统和表面处理设备及解决方案提供商，子公司为全球唯一指定AS-ML公司光刻机相关设备配套清洗设备，技术覆盖EUV/DUV光刻机关键清洗环节

2、张江高科：通过子公司持有上海微电子股权，后者是国产光刻机研发制造核心主体，承担28nm及以下制程光刻机攻关任务。专注光刻机及相关设备研发制造，推动国产光刻机替代进程

3、波长光电：在半导体应用领域，公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力，国产光刻机平行光源系统供应商，2024年上半年交付多套系统，支持65nm及以下分辨率光刻工艺。

4、凯美特气：年产能最大的食品级液体二氧化碳生产企业，公司光刻气产品通过ASML子公司Cymer的合格供应商认证，其激光混配气纯度极高，支撑KrF/ArF光刻机光源系统，技术指标国际领先。

5、茂莱光学：光刻机光学器件供应商，技术突破显著，精密光学器件供应商，DUV光学透镜已进入上海微电子供应链，2025年拟启动光刻机紫外检测系统样机试制。

6、奥普光电：长春光机所控股企业，后者为国产光刻机光学系统核心研发单位，公司通过关联技术参与光刻机镜头及精密光学部件研制。

7、富创精密：半导体设备零部件龙头，进入ASML及上海微电子供应链，提供光刻机腔体、晶圆夹具等精密组件。公司结构零部件（基板、冷却板等）多种产品应用于光刻机、涂胶显影设备，主要客户有上海微电子、芯源微。

8、海立股份：海立集团与微电子装备集团双方领导就项目合作、产品配套等内容进行深入探讨。双方以封装光刻机的冷却系统配套为起点，进一步提升合作能级，逐步从零部件级供应合作提升为系统级供应合作。